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產品特點
l ? 直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)
l ? 旋轉軸行程±90°*360°（AB軸）
l ? XYZ交叉滾柱導軌，納米級定位紋波
l ? AB軸氣浮轉臺，亞微米跳動誤差
l ? 優化線纜管理系統
l ? 結構、行程可定制
應用領域
RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺用于曲面飛秒激光加工。
產品簡介
XY軸采用防蠕動十字交叉滾柱導軌導向，直線電機驅動及光柵尺閉環反饋，XY軸平面式結構，最大限度降低高度，減小系統誤差影響；此外XY軸可定制抱閘功能，抱閘位置漂移可控制在10nm內。
Z軸直驅力矩電機驅動，交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋，獲得納米級定位紋波；
AB軸氣浮軸承、力矩電機驅動及光柵尺閉環反饋，閉式氣浮結構，對結構進行優化設計，氣浮軸承表面和創新的預壓高剛度，側向放置承載能力大，解決氣浮抱死的問題。優秀的軸向跳動誤差、徑向跳動誤差和傾角誤差，使AB軸正交2~10arc sec，軸向線重合度2~10μm。
大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好，應用于運動臺上質量可靠，品質有保障。大理石做模態分析，優化結構尺寸，可依據客戶的要求做最終設計。
規格指標
軸系 | 測試項目 | 單位 | 指標要求 | 實測指標 |
X 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補償后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.07 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.15 | ±0.05 | |
直線度 | μm | ±1.5 | ±1.1 | |
平面度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補償后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.25 | ±0.04 | |
直線度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
平面度 | μm | ±4 | ±0.9 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
A 軸 | 行程 | ° | ±90 | ±90 |
補償后定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
雙向重復定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.15 | |
軸向跳動誤差 | μm | 0.5 | 0.2 | |
徑向跳動誤差 | μm | 0.5 | 0.3 | |
工作速度 | °/s | 40 | 40 | |
B 軸 | 行程 | ° | 360 | 360 |
補償后定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
雙向重復定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.2 | |
軸向跳動誤差 | μm | 0.5 | 0.1 | |
徑向跳動誤差 | μm | 0.5 | 0.3 | |
工作速度 | °/s | 40 | 40 | |
Z 軸 | 行程 | mm | 150 | 150 |
補償后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.4 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.06 | |
直線度 | μm | ±1 | ±0.05 | |
平面度 | μm | ±1 | ±0.35 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
XYAB | 負載 | kg | 1 | 1 |
Z | 負載 | kg | 20 | 20 |