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QFL-FH系列氣浮運動臺
產品特點l?非接觸開式氣浮結構?行程25~150mm可選l?重復定位精度±50nm ?直線度±0.1μm，平面度±0.15μm l?擺角誤差±0.5a
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2024-04-22 |
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QFU系列單軸氣浮運動臺
產品特點l?非接觸閉式氣浮結構 ?行程100~1000mm可選l?亞微米級重復定位精度 ?全行程直線度優于1μm?高柔線纜管理 ?可定制
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2024-04-22 |
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NOTE-AB軸系列氣浮轉臺
產品特點l?閉式氣浮軸承結構 ?精準回零點位置l?正交性 2~10arc sec ?直驅零齒槽效應?軸心線重合度 2~10μm?解決氣浮抱死問
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2024-04-22 |
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QFR系列氣浮轉臺
產品特點l?閉式氣浮結構 ?直驅零齒槽效應l?定位精度±0.5arc sec ?同步跳動誤差10nm?精準回零誤差 ?高速度穩定性?最大承
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2024-04-22 |
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QFL3D系列三軸氣浮運動臺
產品特點l?三軸直驅氣浮結構 ?重復定位精度±50nml?結構緊湊、精度高?全行程直線度±0.1μm?根據需求可定制 ?高柔線纜管理
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2024-04-22 |
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QFL-XY-SG系列三軸高精度運動臺
產品特點?XY軸非接觸式氣浮結構 ?Z軸平升直驅結構l?結構緊湊、精度高?亞微米級重復定位精度?XY直線度±50nm?Z直線度1μm內
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2024-04-22 |
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QFU-A系列雙軸氣浮運動臺
產品特點l?非接觸閉式氣浮結構?光柵尺閉環反饋l?亞微米級重復定位精度 ?直線度平面度優于1μm?優化線纜管理 ?可定制化設計
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2024-04-22 |
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JXRAB系列機械轉臺
產品特點?直驅結構轉臺，閉環控制 ?結構緊湊，節省安裝空間?高動態、高扭矩及高精度 ?可選增量或絕對光柵反饋?軸向和徑向跳
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2024-04-22 |
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