激光微納制造是微納制造技術的重要部分。激光微納制造是通過激光與材料相互作用,改變材料的物態和性質,實現微米至納米尺度或跨尺度的控形與控性。由于激光微納制造在能量密度、作用的空間和時間尺度、制造體吸收能量的可控尺度都可分別趨于極端,而使制造過程所利用的物理效應、作用機理完全不同于傳統制造,其制造復雜結構的能力與品質遠高于傳統制造,由此產生了一批新技術(如光刻、近場納米制造、干涉誘導加工、微焊接等)、一批新產品(如大規模集成電路、MEMS/NEMS等)、一批產品的高性能化(如航空發動機、燃氣輪機、太陽能電池等)和相應的高新技術產業群。
激光微納制造涉及光學、物理、材料、化學、生物、信息、控制、機械、納米科技等學科,必將推動制造及相關學科的深入發展。并為能源、航空、IC制造、國防、汽車、生物、醫療等領域實現跨越式發展提供重要的制造支撐。
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