1引言

　　自1973年第一臺射頻（RF）波導激光器問世至今已26年多。最初是將線圈繞在波導上，實現了RF激勵波導激光器的發光。它首次顯示了低電壓激勵的優越性。那時，還有許多不完善的地方。存在的主要缺點是：放電不均勻，耦合效率差、線圈電感太大，限制RF頻率的提高，只能在幾MHz以下工作等。

　　盡管已有26年多的研制、使用歷史，但當前它仍處于發展與改進階段。其總的研制方向是：降低成本、增長壽命、提高輸出功率和效率、減小體積和質量，改進可靠性，提高各項性能指標，以適應各種用途的需要。

　　RFCO2激光器工作頻率按ISM規定為27～40MHz；其主要分類如下所述：

　　（1）按輸出方式分

　　1）連續輸出；

　　2）脈沖輸出——調制頻率高達1MHz；

　　3）Q開關輸出——電光調Q與聲光調Q。

　　（2）按諧振腔的工作分

　　1）波導腔——孔徑D=1～3mm；

　　2）自由空間腔——孔徑D=4～6mm。

　　（3）按激勵極性分

　　1）單相；

　　2）反相。

　　（4）按腔體結構分

　　1）單腔；

　　2）多腔；

　　（a）折疊腔：V型——2折；Z型——3折；X型——4折。

　　（b）列陣腔：短肩列陣；交錯列陣。

　　（c）積木式：并聯—2腔；三角組聯—3腔。

　　3）大面積放電

　　（a）平板型，（b）同心環型。

　　（5）按均恒電感分布方式分

　　1）準電感諧振技術—用于低電容激光頭；

　　2）平行分布電感諧振技術—用于高電容激光

　　頭。

　　（6）按諧振腔材料分

　　1）陶瓷—金屬混合型；2）全陶瓷型；3）全金屬型。

　　（7）按冷卻方式分

　　1）空氣冷卻；2）水冷卻。

　　（8）按封裝方式分

　　1）封離型；2）流動型。

諧振腔的材料一般為：金屬—A1。陶瓷—BeO，BN、AIN、Al2O3等。

2技術條件

　　用于CO2激光器的典型工作氣體內含有：二氧化碳、氮、氦和氙。氮氣和氦氣有利于放電的均勻性。氙氣對RF放電激光器的功率和效率具有積極影響。添加5％氙氣可使功率提高24％。

　　通常單模結構器件，單位長度注入的連續（射頻）激勵功率限于2～6W/cm，轉換效率為10％～20％，對激光電源的一般要求為：穩定可靠、維修方便、效率高、尺寸小、成本低。

　　具體技術條件如下：

　　輸入參數：交流輸入電壓220V；交流輸入電流1.5A；開關電源輸出直流電壓30V；開關電源輸出電流8A。

　　RF電源：輸入功率160W；工作頻率40MHz；輸出波形正弦波；帶寬△f±3MHz；效率70％。

　　調制器：脈沖調制頻率0～100kHz方波連續可調；占空比連續可調；幅度調制度100％。