西安炬光科技股份有限公司近期拓展了FocusEngine™ 水冷垂直疊陣系列的單bar功率范圍。最新的微通道水冷疊陣單bar產品峰值功率由原來的300W拓展到500W，可以在高達10%的QCW高占空比模式下工作，每個產品的厚度最薄可到1.6mm。同原有單bar產品一樣，該產品仍然可以組成2~40 Bar的垂直疊陣，從而使得疊陣的整體峰值功率更高，體積更小，輸出功率密度更大。在目前全世界范圍內公開報導可批量生產的高功率半導體激光器中，該產品的單Bar峰值功率是最高的。

炬光科技優化了該產品的散熱結構設計，提高了芯片的無缺陷鍵合工藝技術，使產品的散熱能力、熱應力及性能一致性都得到顯著的提高。

圖1 FocusEngine™500W微通道水冷疊陣單bar產品

相比于傳導冷卻封裝的半導體激光器產品來說，在高能量輸出的情況下，該微通道水冷的產品由于散熱距離更短，能通過控制水冷溫度更加有效地控制激光波長，激光器在不同環境溫度、不同電流、不同占空比情況下工作時，波長更穩定、偏移量更小、偏移量的一致性也更好。這一點對于固體激光器的實用性來說非常有利。

圖2為該系列產品組裝后的疊陣產品，可廣泛應用于固體激光器泵浦和科研等領域，特別是可作為板條激光器的泵浦光源。使用該產品，可以使泵浦源的功率更高、功率密度更大、體積更小，使得固體激光器系統可以做得功率更大、體積更小、成本更低。

圖2 FocusEngine™微通道水冷疊陣系列

該系列產品的材料和工藝過程符合綠色環保要求，達到RoHs標準。