2月27日，上海光機所信息光學(xué)與光電技術(shù)實驗室組織專家對德國耶拿Friedrich-Schiller大學(xué)教授Frank Wyrowski承擔的“中國科學(xué)院外國專家特聘研究員”項目進行了同行評議。與會專家聽取了Frank Wyrowski教授對合作項目的進展報告，經(jīng)過討論，一致認為：Frank Wyrowski教授在上海光機所的兩個月期間，結(jié)合基于場追跡的光學(xué)仿真軟件VirtualLab，對光刻機照明系統(tǒng)關(guān)鍵元件的設(shè)計與系統(tǒng)仿真工作起到了重要的推動作用。評議專家組認為該項目組已完成了預(yù)期研究內(nèi)容，達到了預(yù)期研究目標. 

　　在Frank Wyrowski教授的指導(dǎo)下，項目組確定了照明系統(tǒng)的仿真目標和基本模型，提出了介于光線追跡和場追跡之間的混合仿真方法；研究了提高衍射光學(xué)元件效率的設(shè)計方法，通過降低信噪比使效率提高約3%。面向相關(guān)技術(shù)人員，F(xiàn)rank Wyrowski教授舉辦了以“場追跡技術(shù)和應(yīng)用”為主題的4次系列學(xué)術(shù)報告。該項目促進了雙方的學(xué)術(shù)交流，為雙方深化合作研究奠定了堅實的基礎(chǔ)。