多晶硅工藝提高后，完全能夠實現清潔生產。產業發展初期，生產規模小，副產物處理技術不完善，部分副產四氯化硅通過水解及貯存等簡單的處理方式，給行業帶來負面影響。

 　　伴隨產業規模擴大，簡單的副產物處理方式已不能適應大規模生產需要，為降低生產成本，實現安全環保生產，以中硅高科為代表的企業深入研究四氯化硅氫化技術，將其轉化為原料三氯氫硅，實現了多晶硅生產系統的閉路循環，以此降低多晶硅生產成本。

 　　輿論誤導2007年，中國首次成為世界第一光伏產品生產大國，當年多晶硅產量1130噸，突破千噸大關，中硅高科當年產量506噸，約占全國50%，列首位，成為業內外關注焦點。

 　　2007年8月，國內某期刊發表《太陽能產業真相》，2008年3月9日，美國某知名媒體援引該文的主要觀點，發表題為《中國太陽能生產廠家將工業垃圾傾倒在廠后》的報道，大肆渲染中硅高科300噸生產線調試過程中的一次偶發閥門泄漏事件，引發不了解多晶硅行業內情的相關人士的誤解，“聲討多晶硅”之聲不絕于耳。此報道到目前仍成為證明多晶硅污染的“依據”之一。

 　　針對此報道，國家環保部曾多次、隨機地到現場調查，當地環保部門也進行了長達2周的現場突擊檢測，最終得出“中硅高科‘三廢’全部達標排放”的重要結論。2009年，中硅高科獲得國家“環境保護突出貢獻獎”，2010年獲“全國環保優秀品牌企業”。

 　　嚴格的核查及客觀的結論，已經為中國多晶硅企業正名，正是在此基礎上，2012年“多晶硅節能環保新技術、裝備及產業化”榮獲國家科技進步二等獎，這一目前行業最高獎項，成為行業發展的標志性事件。

 　　多晶硅副產物的處理措施有關多晶硅污染的報道，主要集中在四氯化硅的處理上。美國媒體發出“四氯化硅倒在地里會寸草不生”的言論。可實際上，四氯化硅既是多晶硅生產的主要副產物，也是多晶硅生產原料的主要來源之一。近幾年，隨著四氯化硅冷氫化等技術研發與推廣，實現了將多晶硅生產過程中產生的95%的副產物四氯化硅氫化轉化為三氯氫硅原料，剩余約5%含雜質四氯化硅經提純后用于生產氣相白炭黑或其他有機硅產品，真正做到物料閉式循環利用，既有效解決了副產物處理難題，也降低了生產成本，消除了四氯化硅的污染隱患。

 　　多晶硅“三廢”處理措施事實上，多晶硅生產的“三廢”成分簡單，處理容易。多晶硅還原尾氣主要含有氫氣、氯化氫、三氯氫硅、四氯化硅等成分；廢水為廢氣淋洗水、純水制備排水等，含鹽酸，呈酸性；廢渣為硅粉、二氧化硅、石灰石渣等，無害、不溶，屬一般固體廢物。

 　　通過用水或堿性水對廢氣進行淋洗，利用氯硅烷極易水解和酸堿中和的原理，將廢氣中的主要成分水解成二氧化硅和鹽酸，鹽酸與堿反應形成中性水，進一步處理后達標排放；二氧化硅通過壓濾固化后運至政府指定垃圾場或填坑鋪路。

 　　氫化技術取得突破是形成多晶硅生產過程物料封閉循環的基礎，現在國內大部分千噸級規模的工廠都有“尾氣干法回收”系統，環境影響評價和監測系統完善，不存在“高排放”。