激光清洗是一種新的清洗方法，它利用激光的方向性和高亮度，通過光剝離、光分解等原理清除材料表面的污染物，具有簡單方便無二次污染等獨特優點。它可以用于液體、固體和氣體，適用范圍廣，尤其在除銹、除漆、除泥污、微電子汗液晶片表面處理等顯出優越性。

傳統的清洗方法包括機械清洗法、化學清洗法和超聲波清洗法，它們在環境保護和高精度要求方面的應用受到很大的限制。上世紀80年代，人們發現把高能量的激光束聚焦后照射一些物品的被污染部位，使被照射的物質發生振動 、熔化 、蒸發 、燃燒等一系列復雜的物理化學過程，可以使污染物最終脫離物品表面，從而實現對表面污染物的清除，這就是激光清洗，它以自身的許多優點在許多領域中逐步取代傳統清洗工藝，展示了廣闊的發展前景。

激光具有強度高 、能量密度大 、聚焦性強 、方向性好的特點 ，激光清洗技術是利用激光脈沖的振動 、粒子的熱膨脹 、分子的光分解或相變三種作用或它們的聯合作用克服污物與基體表面之間的結合力 ， 使污物脫離表面而達到清洗的目的。

人工操作操作簡單，手持或自動化工序流程復雜，對操作人員要求高，需作污染防護措施耗費人工人力很辛苦， 需做污染防護措施操作簡單，手持或自動化操作簡單，但需要人工添加耗材

成本投入首次投入高，無耗材， 維護成本低首次投入低，耗材成本極高首次投入高，耗材人工成本低首次投入中等耗材成本高首次投入低，耗材成本中等系統原理

脈沖激光器發生高能脈沖激光，并通過光纖傳導至整形模塊，由單軸或雙軸掃描振鏡反射后照射到工件表面的污垢層，對工件表面的銹、油漆、油污、氧化皮、鍍層等附著層產生汽化、光剝離、光分解、光振動后實現清洗的目的。國外各種激光清洗機已經相繼問世，并且已經用于很多領域。激光清洗已經從單一的清除硅片掩模表面微粒發展到各個應用領域；可以清除的污物大到油漆等片狀物小到納米量級的微小顆粒；可以清洗污物的種類也是十分廣泛，從無機物到有機物，從透明物到不透明物質，甚至用于放射性污染的清除。

在國內，由于對環境保護和對激光技術的認識不足，以及對一次性投入較高的擔憂，激光清洗的工業應用還較少。可以預見，隨著激光技術的發展，激光成本的下降，激光清洗技術應用會更加廣泛。