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    打孔

    激光打孔 vs 激光誘導(dǎo)刻蝕,誰才是TGV玻璃加工的王者?

    激光制造網(wǎng) 來源:睞芯科技LightSense2025-05-22 我要評論(0 )   

    除了激光,玻璃打孔的方式還有哪些?制備方法有噴砂、機(jī)械鉆孔、干法刻蝕、濕法腐蝕、聚焦放電等方式,見下表:方法原理說明1. 噴砂高速噴射磨料顆粒撞擊玻璃表面,反復(fù)...

    除了激光,玻璃打孔的方式還有哪些?

    制備方法有噴砂、機(jī)械鉆孔、干法刻蝕、濕法腐蝕、聚焦放電等方式,見下表:

    方法
    原理說明
    1. 噴砂
    高速噴射磨料顆粒撞擊玻璃表面,反復(fù)沖刷鑿出通孔
    2. 機(jī)械鉆孔
    使用微型硬質(zhì)鉆頭(如金剛石)機(jī)械旋轉(zhuǎn)鉆入玻璃
    3. 干法刻蝕
    采用等離子體或離子束對玻璃進(jìn)行各向異性刻蝕
    4. 濕法腐蝕
    使用HF化學(xué)蝕刻玻璃內(nèi)部結(jié)構(gòu)
    5. 聚焦放電
    高壓放電產(chǎn)生局部高溫,擊穿玻璃形成孔洞

    使用激光打孔的好處?

    1,激光可實(shí)現(xiàn)高精度定位,孔位誤差小;無需掩膜或鉆頭;能加工微米級孔徑(<10 μm),也可根據(jù)功率調(diào)整孔深/孔徑比。
    2,通過參數(shù)調(diào)節(jié)、聚焦控制可實(shí)現(xiàn)高密度陣列孔,
    3,可實(shí)現(xiàn)批量自動打孔,加工速度快;適合大尺寸面板化封裝工藝
    激光燒蝕與激光誘導(dǎo)刻蝕的區(qū)別?

    項(xiàng)目
    激光燒蝕激光誘導(dǎo)刻蝕
     原理
    高能激光直接將材料氣化/熔化燒蝕
    飛秒激光在玻璃內(nèi)部誘導(dǎo)結(jié)構(gòu)變化,再通過化學(xué)腐蝕清除受損區(qū)域
     步驟流程
    單步完成:激光直寫打孔
    兩步:①飛秒激光寫入軌跡 → ②濕法腐蝕移除變性玻璃
    能量特性
    通常使用CO?激光、UV激光,熱效應(yīng)明顯
    飛秒激光,極短脈沖,無熱影響區(qū)
    玻璃損傷
    易產(chǎn)生熱裂紋、邊緣崩裂
    幾乎無熱裂紋,孔壁光滑、結(jié)構(gòu)完整
     孔的精度與形狀控制
    孔形受限,孔口易塌邊、不垂直
    可實(shí)現(xiàn)高深寬比、高密度、垂直孔、異形孔陣列



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