產品特點
l ? 非接觸閉式氣浮結構 ? 行程100~1000mm可選
l ? 亞微米級重復定位精度 ? 全行程直線度優于1μm
? 高柔線纜管理 ? 可定制化設計
應用領域
QFU系列是一款大行程氣浮運動臺，閉式氣浮結構，常規最大行程1米，直線度優于1μm，用于精密加工、測試測量、掃描、半導體及光子學等行業。
結構特點
QFU系列主要采用氣浮導軌、直線電機和光柵尺組成，閉式氣浮結構，氣浮導軌四面均勻受力，相較于開式氣浮結構，側向氣浮剛度更大，承載能力更強，模態更高，系統帶寬更大，相位裕度和幅值裕度余量更大，對于大體積、大負載及偏心安裝等負載形式，更能突顯其性能優勢。
精度性能
氣浮導軌基于氣體靜壓效應，實現無摩擦和無振動地平滑移動，與摩擦式導軌相比，氣浮運動臺的直線度、平面度可達亞微米，Pitch Yaw指標可達1角秒內，由于非接觸式，系統跟隨誤差有了質地提升，定位精度和重復精度得到了顯著提高，行程100~1000mm可選。
線纜管理
使用高質量、高柔性的屏蔽線纜，管線彎曲半徑更小，能夠防止電子信號的干擾，同時防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動臺的性能。
定制化
可定制陶瓷材質氣浮導軌，1米行程直線度可優于±0.5μm，更大行程也可接受定制。
規格指標
型號 | 單位 | QFU-100 | QFU-200 | QFU-300 | QFU-400 | QFU-500 | |
行程 | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
標準值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 |
標準值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.4 | ±0.4 |
標準值 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
標準值 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.8 | ±1 |
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大負載 | kg | 20 | |||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
型號 | 單位 | QFU-600 | QFU-700 | QFU-800 | QFU-900 | QFU-1000 | |
行程 | mm | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.3 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
標準值 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
標準值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.45 | ±0.45 | ±0.45 | ±0.5 | ±0.5 |
標準值 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.65 | ±0.7 | ±1 | ±1 |
標準值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 |
標準值 | ±3 | ±3 | ±4 | ±4.5 | ±5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大負載 | kg | 20 | |||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
5. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
訂購信息
型號 | QFU | -300 | -PLUS | -AL | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
描述 | 閉式氣浮運動臺 | 行程300mm | PLUS高精度版 | 鋁合金氣浮導軌 | 默認 | 增量式光柵1Vpp反饋 | 零點在行程中心位置 | 高柔排線 | 線纜長度3米 | 有大理石基座 | 有壓力保護開關 |
