產(chǎn)品特點

l ?  閉式氣浮結(jié)構(gòu)                                                                ?  直驅(qū)零齒槽效應(yīng)

l ?  定位精度±0.5arc sec                                                   ?  同步跳動誤差10nm

?  精準(zhǔn)回零誤差                                                                ?  高速度穩(wěn)定性

?  最大承載100kg                                                              ?  解決氣浮抱死問題

應(yīng)用領(lǐng)域

QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺輕量化設(shè)計、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級同步跳動。產(chǎn)品設(shè)計滿足晶圓加工及檢測、輪廓測量、高精度計量、光學(xué)檢測和MEMS/納米技術(shù)設(shè)備等高端行業(yè)。

結(jié)構(gòu)特點

由無齒槽直驅(qū)力矩電機、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計使工作臺面降到最低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮抱死的問題，力矩電機固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動。

精度性能

瑞邦精控的QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm，擺角誤差3μrad，最大負(fù)載100kg，電動控制和手動轉(zhuǎn)動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。

閉環(huán)反饋

使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮轉(zhuǎn)臺能精準(zhǔn)回零。

定制化

氣浮轉(zhuǎn)臺可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。

規(guī)格指標(biāo)

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在轉(zhuǎn)動臺面上25mm處，測試速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測量，精度測試與負(fù)載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如需非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 軸向和徑向跳動為同步跳動誤差，測微儀和標(biāo)準(zhǔn)球測量，計算為最大值-最小值-標(biāo)準(zhǔn)球誤差-同心度。

3. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細分倍數(shù)。

4. 最大轉(zhuǎn)速取決于負(fù)載大小，最大定制轉(zhuǎn)速7800 rpm。

5. 為保護氣浮軸承建議加裝壓力保護開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。

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