產品特點

?   XY軸非接觸式氣浮結構                                    ?  Z軸平升直驅結構

l     ?   結構緊湊、精度高                                              ?  亞微米級重復定位精度

?   XY直線度±50nm                                                 ?  Z直線度1μm內

?   根據需求可定制                                                  ?  高柔線纜管理系統

應用領域

QFL-XY-SG系列是一款結構緊湊的三軸精密運動臺，亞微米精度用于飛秒激光加工、測試測量、高精度掃描、半導體及光子學等行業。

結構特點

XY軸為非接觸式氣浮結構，精度高和外形尺寸小等特點，氣浮導軌間沒有機械接觸，免維護運行。Z軸為平升直驅結構，承載能力大，抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，提升直線度性能，可選雙閉環反饋的方式，獲得高重復定位精度和定位精度。

精度性能

XY軸氣浮運動臺的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度±0.05μm，平面度±0.1μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度±0.5μm。

線纜管理

使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可定制帶屏蔽高柔線纜，適合環境噪聲大的場合。 

定制化

XY軸可定制陶瓷材質氣浮導軌，直線度可達±50nm。

規格指標

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

4. 空載條件下指標，最大速度取決于負載大小。