產品特點

l ?  三軸直驅氣浮結構                                                ?  重復定位精度±50nm

l ?  結構緊湊、精度高                                                ?  全行程直線度±0.1μm

?  根據需求可定制                                                    ?  高柔線纜管理系統

背景介紹

QFL3D系列是一款結構緊湊的三軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工，測試測量，掃描、半導體及光子學對準等行業，由于非接觸式移動，精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。

結構優勢

QFL3D系列是一款預負載結構的三軸氣浮運動臺，氣浮結構已證明是精密應用中的理想選擇，適用飛秒激光加工、微納制造等應用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是定位抖動，還是速度穩定性，QFL3D系列都是良好的解決方案。

定制化

根據用戶的應用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結構，如直接在XY軸上增加Z軸，平升Z軸或定制大理石基座、立柱及橫梁上側掛Z軸等。此外可提供激光觸發同步輸出5V TLL信號。

線纜管理

使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。 

潔凈室兼容性

氣浮軸承本質上與潔凈室環境兼容，高質量的無塵線纜管理也符合實驗室環境。

規格指標

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。

5. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。